光刻機的生產(chǎn)國家有荷蘭、中故宮、日本、美國、韓國等,相對于其他國家來說,目前的荷蘭光刻機的精度為首,很多人誤以為我們國內(nèi)生產(chǎn)不出光刻機,其實不是這樣的,而是精度沒有荷蘭的高,這是需要發(fā)展過長的,畢竟光刻機的生產(chǎn)不是一個方面因素就可以決定。另外,像光刻機運行當中所使用到的ups電源是可以直接咨詢我們優(yōu)比施廠家。
在全球高端光刻機市場,荷蘭已經(jīng)達到全球領先水平,而荷蘭ASML公司占據(jù)全球80%的市場份額,幾乎處于壟斷地位。ASML研發(fā)生產(chǎn)的EUV光刻機售價高達1億美元,年供應量非常有限。畢竟,制造光刻機的過程極其復雜,一個光刻機需要5萬個零部件。
為什么ASML能稱霸世界?最重要的原因之一是與客戶的利益捆綁。臺積電,三星、英特爾是世界頂級半導體廠商,都需要ASML設備,所以是ASML的穩(wěn)定客戶。
為了利益最大化,這些半導體廠商紛紛在ASML投資,將利益與ASML捆綁在一起。ASML需要巨大的研發(fā);d每年的資金,可以由三大半導體巨頭提供。當ASML生產(chǎn)出最先進的光刻機,時,它將首先供應給臺積電,三星和英特爾。
那么,ASML是如何躋身世界頂級光刻機?的呢事實上,2007年之后,ASML逐漸成為世界頂級光刻機市場的霸主。2007年之前,日本尼康和佳能也非常強勢,占據(jù)了全球很大的市場份額,但轉(zhuǎn)折點在2007年。
除了荷蘭,日本、中國也可以做光刻機,日本的代表企業(yè)是尼康、佳能,中國的代表企業(yè)是上海Microelectronics(SMEE)。目前,上海微電子可以生產(chǎn)90納米的光刻機,而ASML可以生產(chǎn)最先進的7納米的光刻機,差距仍然非常明顯。
當然,我們不要低估自己。我們應該知道,ASML在光刻機生產(chǎn)的大部分零部件都是從國外進口的。專業(yè)光刻機檢測采用美國技術,也采用蔡司,德國的光學鏡頭這些都是世界頂尖技術,并不是所有都可以歸一個國家所有。光刻機是人類最高智慧的結(jié)晶,需要長期的科研投入和技術積累。
在光刻機,領域,中國起步晚于歐洲,日本和美國,但我們有足夠的發(fā)展后勁。目前國內(nèi)最好的芯片設計是海思,華為,研發(fā)的麒麟芯片,不亞于高通、美國,甚至在5G芯片領域達到全球領先水平。
然而,在光刻機制造和芯片制造領域,我們與發(fā)達國家仍有差距。要堅持長期投入科研和人才培養(yǎng),到時候中國也能有自己的光刻機。
目前上海微電子設備系統(tǒng)有限公司是中國!能夠?qū)崿F(xiàn)芯片光刻機量產(chǎn)的公司目前90nm的光刻機可以量產(chǎn),65nm的光刻機已經(jīng)研發(fā)了四五年,但是還沒有到量產(chǎn)階段!
前一階段,上海微電子設備在28nm商用光刻機,的研發(fā)上取得了長足的進步,但中國在通往光刻機的道路上還有很長的路要走90納米技術落后ASML15-20年。高端芯片需要高端光刻機器。美國敢制裁華為芯片業(yè)務也說明了中國半導體制造的落后!
2017年6月21日,“極紫外光刻"關鍵技術研究”通過驗收測試。此次國內(nèi)自主研發(fā)的EUV光刻機技術是向前邁出的重要一步!
2019年,武漢光電中心甘宗松團隊在研究第六代光刻機,利用兩個激光束在國產(chǎn)光刻機上突破光束衍射極限,雕刻最小9nm,這項技術擁有完全自主產(chǎn)權(quán)。
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